纳米压痕仪的应用、文献及原理-北京中海远创-资料下载

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2023-01-04 45 退火对50nm金膜的影响，通过纳米压痕硬度测试，分析沉积在两种衬底上的超薄金膜在真空退火前后的性能。NanoBlitz 3D和Express Test的测试结果显示，金薄膜的压痕硬度显著降低。KLA_AppNote_Gold-Films.pdf

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2023-01-04 44 使用仪器化压痕研究金属薄膜的应变速率敏感因子，通过仪器化压痕测试（IIT），测量硅上的镍薄膜和铜薄膜的应变速率敏感因子(SRS)。同时，使用连续刚度测量（CSM）功能，获得样品压痕硬度和弹性模量随压入深度的连续变化曲线。KLA_AppNote_StrainRate.pdf

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2023-01-04 43 使用KLA Nano Indenter系统进行仪器化压痕测试，仪器化压痕测试（IIT）或深度传感压痕(DSI)已成为纳米力学测试和材料表征的首选技术。本文讨论了Oliver-Pharr测试方法、理论和数据分析，并基于此获得杨氏模量、硬度、复模量、蠕变应力指数和断裂韧性。KLA_AppNote_Instrumented-Indentation-Testing.pdf

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2023-01-04 42 连续刚度测量（CSM），本文讨论了纳米压痕测试中的连续刚度测量(CSM)，在必须考虑动态效应（例如应变速率和激励频率）的应用中，其可以发挥重要的作用。将CSM选项应用到材料表征中，研究者能够有效区分载荷-位移曲线里所关心的特定动态分量和其它分量。KLA_OptionsDataSheet_CSM.pdf

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2023-01-04 41 Nano Indenter的Express Test（快速压痕）功能选项，Express Test是KLA纳米压痕仪提供的一种快速纳米力学测试方法，其能够获得样品纳米力学特性（例如杨氏模量和硬度）的直方统计图和3D分布图，且测试中的热漂移可忽略不计。KLA_OptionsDataSheet_ExpressTest.pdf

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2023-01-04 40 低介电常数（low k）电解质膜的划痕测试和结果的相关性研究，Nano Indenter® G200用于确定硅衬底上十个旋涂低介电常数 (low k) 薄膜的划痕和磨损特性。执行斜坡载荷划痕测试，在划痕测试前后收集涂层表面的单线扫描，以确定残余形变。NanoVision样品台用于为纳米压痕测试提供高分辨率定位功能。KLA_AppNote_Low-K-Dielectric.pdf

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2023-01-04 37 热障涂层高速纳米压痕成像技术和数据反卷积的关键评估，本文由Warren C. Oliver与合作者共同发表在Materials and Desigh杂志上，针对多相合金和小体量材料，使用NanoBlitz 3D快速纳米力学性能成像研究其局域力学性能分布。通过大量的纳米压痕实验和有限元模拟，以确定防止相邻压痕相互作用所需的压痕之间的最小间距。TBC_Mapping_JMAD_2019.pdf

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2023-01-04 36 商用纯钛应力-应变关系的显微测量，使用标准的测试方法“Flat Punch on Metals for Stress-Strain”，iMicro纳米压痕仪测试获得了商用纯钛的应力-应变曲线。平压头在这一测试中优于更广泛使用的球形压头，因为在整个纳米压痕测试中，其与样品的接触面积及其作用的材料体量均保持不变。KLA_AppNote_Stress-Strain_Ti.pdf

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2023-01-04 35 冲击硬度：纳米压痕、高应变速率和使用DataBurst技术进行高速数据采集，使用Nano Indentersup®G200X系统对铝、铁、不锈钢和工业纯镁进行冲击纳米压痕测试。使用ISO 14577测试方法和恒定负载和保持(CLH)测试，对这些材料随应变率而变化的硬度测试进行了比较。KLA_AppNote_Impact_Hardness.pdf

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2023-01-04 34 薄膜剥离：结合纳米压痕和成像技术，检测薄膜剥离临界载荷和界面结合能，使用ISO 14577标准纳米压痕法以及负载因子递减，测量低介电常数(low k)薄膜的界面粘附能。载荷-位移曲线分析确定了薄膜基片界面处裂纹萌生分层时的载荷，以及在临界载荷附近纳米压痕过程中耗散的能量。KLA_AppNote_Film_Delamination.pdf

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