北京中海远创材料科技有限公司

 

提供专业的纳米力学测试解决方案，专业负责KLA（科磊）公司微纳米力学测试系统、纳米压痕仪、划痕仪、常温/高温SEM原位压痕仪、纳米拉伸仪，探针式轮廓仪、台阶仪、形貌仪、三维光学轮廓仪以及各种型号膜厚仪、电阻测试仪的销售和技术应用服务工作。

 

KLA公司是工艺控管与良率管理解决方案的全球行业佼佼者，与世界各地的客户合作开发高端的检测和量测技术，并且将这些技术致力于先进材料、物理、微器件、半导体、LED 及其他相关微纳研究和生产领域。凭借符合行业规范的产品组合和高水平的工程师及科学家团队，近 40 年来公司持续为客户打造卓越的解决方案。

关于我们

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在微纳力学测试系统、SEM/FIB原位纳米力学测试系统领域，KLA是业内罕有的超过40年生产和研发经验的生产商，工艺成熟，产品性能稳定可靠，在企业、高校和科研院所拥有广泛的客户群体。KLA微纳力学测试系统包括业内声誉很高应用广泛的G200、iMicro、iNano型纳米压痕仪，UTM T150型纳米拉伸仪。新研发的第六代G200X型纳米压痕仪在第五代G200型纳米压痕仪的基础上进一步创新发展，正越来越得到更多用户的认可。SEM/FIB原位纳米力学测试系统主要包括适用于电镜的常温原位纳米压痕仪NanoFlip和高温原位纳米压痕仪InSEM HT等。同时，KLA台阶仪、探针式轮廓仪、三维光学轮廓仪、膜厚仪、方块电阻测试仪、表面缺陷检测系统等设备在业内也享有很高的声誉和市场占有率。台阶仪、轮廓仪主要包括广受好评的Zeta系列，P系列、D系列等型号产品，膜厚仪主要包括F10-HC，F20，F32，F40，F50，F60-t等型号产品。方块电阻测试仪，例如R54-200等。表面缺陷检测系统，例如Candela 8520等。

我公司拥有一支专业诚信的技术、销售、管理团队，有着丰富的从业经验，自公司创立以来，在科研、生产等多个领域为客户提供了有竞争力的产品和技术服务。

 

我公司始终秉承客户第一服务至上的宗旨，依托专业化的团队、全国性的营销网络和良好口碑的品牌，在不断优化服务质量、扩大市场辐射范围的同时，为客户提供更全面的服务。

 

纳米力学测试系统的历史沿革——从MTS公司到安捷伦公司再到KLA公司

 

        —— KLA是全球性半导体在线量测公司。

        —— 在 1983 年成功制造了商用纳米压痕仪。

        —— 拥有相当广泛的纳米压痕仪客户群。

        —— 是符合 ISO-14577、ASTM-E2546-07、GB/T22458-2008、GB/25898-2010 等国家标准的纳米压痕仪供货商。

        —— 加载范围大，加载灵活，适用于各种材料和硬质薄膜及涂层的检测。

        —— 压头移动范围大，适用于各种较厚薄膜和涂层、粗糙度较大的样品。

        —— 位移探测精度高。

        —— 连续刚度测量模块——KLA的核心技术。

        —— 恒应变加载模式——KLA的核心技术。

        —— 先进的金刚石压头制造工艺。

        —— 整个测量过程中热飘移效应实时扣除——KLA的核心技术。

        —— 功能强大的 NanoSuite 6 控制软件——公认强大的控制软件。

        —— 真正的原位成像和原位纳米力学测试功能。

        —— 性能优越的防震抗噪系统。

        —— 全自动控制的光学显微镜系统。

        —— 在中国设置了当地的维修和培训中心。

        —— 强大的技术团队。

        —— 拥有国内高端领域非常广泛的客户群体。

 

 

 

 

 

公司背景

 

 

KLA是半导体在线检测和量测设备供应商。KLA于2018年3月从Keysight Technologies公司收购了主打产品——高精度原位微纳米力学测试系统Nano Indenter G200和高精度微纳米拉伸系统UTM T150；

 

该力学设备的工厂是全球大型高精度力学测试系统的供应商，1983年成功制造了商用Nano Indenter；该力学设备的工厂是业内罕有达到40年Nano Measurement Tool生产和研究经验的供应商，

 

成熟的工艺保证了新一代Nano Measurement Tool具有相当好的稳定性和可靠性。该力学设备的工厂拥有广泛的客户群，在高端力学测试系统领域内拥有很高的市场占有率。

 

 

KLA是形貌学测试仪器供应商，经过近30年的技术创新和产品更新换代，一直保持着形貌学测试技术的骄人地位。KLA形貌学测试设备的工厂是业内罕有超过30年形貌仪台阶仪生产和研究经验的供应商，成熟

 

的工艺保证了新一代仪器具有良好的稳定性和可靠性。该形貌学设备的工厂拥有广泛的客户群，在高端形貌学测试系统领域内拥有相当高的市场占有率。

 

 

1． 产品技术水平

 

KLA公司拥有很多Nano Measurement Tool的核心技术, 并不断推出更多更新更便于操作的纳米测量产品。纳米拉伸测试系统UTM T150，就是基于KLA的核心技术开发的，适用于对多种材

 

料进行高精度拉伸压缩测试分析，对样品的多种力学性能进行快速、实时分析，包括弹性模量、屈服强度、极限抗拉强度，疲劳特性等等。在许多应用研究领域，UTM T150都表现出其无与伦比的杰出

 

性能，诸如：生命科学、材料科学、聚合物材料、交叉学科纳米尺度的研究等。

 

 

KLA公司拥有很多Nano Indenter的核心技术，包括连续刚度测量功能、接触刚度成像功能以及快速纳米压入测试技术等等；KLA公司的连续刚度测量功能已经成为薄膜、涂层、多相材料等

 

样品检测常用的测试技术。KLA拥有快速压痕测试技术，压痕测试速度可达到 1 压痕点/秒。

 

 

KLA公司拥有很多形貌学核心技术, 并不断推出更多更新更便于操作的形貌学测量产品。形貌学测试系统D-系列、P-系列和Zeta-系列都是基于KLA的技术开发的，适用于对多种材料进行高精度形貌学测试分

 

析，对样品的多种形貌学性能进行快速、实时分析，包括台阶高度、表面粗糙度、表面形貌，表面内应力分布等等。在半导体科学、材料科学、聚合物材料、生命科学、交叉学科纳米尺度的研究等诸多领域，

 

D-系列、P-系列和Zeta-系列都表现出杰出的性能特征。

 

 

2． 售后服务和技术支持

 

KLA公司在中国有超过600名员工，在国内配备本土Nano Indenter方面的技术专家，在业内拥有非常好的口碑；

 

KLA公司在中国拥有自己的纳米科学示范实验室，并有专职的应用专家在实验室工作，负责用户的应用技术支持工作；

 

KLA公司还定期举办高级用户培训班，由公司的应用科学家为不同学科的用户进行各个领域应用的深层次培训。