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Filmetrics® F50 自动薄膜测绘仪

F50 在 F20 系列的基础上增添了其他功能，如自动 R-Theta 载物台，可对直径达 450 毫米的晶圆进行膜厚测绘，单点测量时间约为 0.5 秒。

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Filmetrics® F40 薄膜厚度测量仪

将您的显微镜变身为薄膜测量工具！在几秒内测出厚度、光学常数和反射率！

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Filmetrics® F54 薄膜厚度测量测绘仪

Filmetrics F54 集成了 F40 的微小光斑与內建摄影机，再结合 R-Theta 载物台与高级光谱反射系统，可自动测绘直径长达 450 毫米的样品。

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Filmetrics® F54-XY-200 和 F54-XY-300 薄膜厚度测量测绘仪

F54-XY 系列自动桌上型测绘系统可测量直径高达 300 毫米、带图案样品的薄膜厚度、折射率、反射率、吸收率和表面粗糙度。五种配置可测量的薄膜厚度范围为 4 纳米至 120 微米，光斑尺寸范围为 2 微米至 100 微米。

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Filmetrics® F3-CS薄膜厚度测量系列

F3-CS 坚固耐用，容易携带，专门用于测量小测试片或样品片的反射率、薄膜厚度和折射率。

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Filmetrics® F3-sX薄膜厚度测量系列

Filmetrics® F 系列反射仪可在数秒内精准测量薄膜厚度。这些易于使用、经济实惠的厚度测量工具可与智能软件及各种附件与配置相结合，使用高度灵活，可测量厚 1 纳米至 3 毫米的薄膜。是单击鼠标即可测出薄膜厚度和折射率的桌上型单点厚度测量系统。我们的新Filmetrics® F3-sX产品线可测量厚度多达 3 毫米的半导体和介电层薄膜。

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F20/F30/F40/F50 膜厚仪系列

Filmetrics®经济实惠的膜厚仪系列，利用光谱反射技术，在几秒钟内就能完成高精度的薄膜厚度测量。这些易于使用的仪器与智能软件和一系列附件和配置相结合，具有非常大的通用性，可测量从几毫米到450毫米大小，厚度从 1 纳米到 3 毫米的薄膜。被广泛应用于半导体、微电子和生物医学等领域。

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