Zeta™-Solar 光学轮廓仪
产品描述
KLA Instruments™ 推出新款 Zeta™-Solar。它是一款为太阳能行业定制的光学轮廓仪，可满足独特的太阳能电池金属化需求，针对先进的太阳能电池工艺金属细栅和主栅测量而设计。这款全新的 Zeta 型号利用 3D 成像技术的进步简化了成像系统。提供多种 XY 测量台选项，可满足 230mm x 230mm 新一代太阳能电池的测量需求。此外还开发了 Zeta-Solar 软件，将易于使用的 Profilm 软件与成熟的 Zeta 金属化测量解决方案无缝结合。更强大的测量分析功能提供了专为光伏行业设计的金属化测量方案和质量评判标准。
特征
- 太阳能电池金属细栅、主栅的高度、宽度测量，拥有宽度、高度、高宽比和横截面积的统计分析，以及合格品/不合格品识别分析
- HDR功能，可优化具有超低反射率绒面的栅线测量效果
- 自动拼接功能，可用于大视场 (FOV) 区域测量，如主栅和栅线接触点等
- 采用 230mm x 230mm 可编程XY 测量台，适用于新一代太阳能电池产品
- 太阳能电池金属栅线的3D真彩色成像
- 高度可重复性和再现性
应用
- 金属化细栅线
- 金属化主栅线
- 金属化接触/键合垫
- 真彩色成像
应用举例
金属化栅线量测
Zeta-Solar 专门用于测量太阳能电池的导电金属化特征，利用高动态范围（HDR）成像能力，在低反射率纹理表面上自动检测和测量高反射的金属栅线。
金属化主栅线量测
Zeta-Solar 可自动拼接多个区域的测量结果并对整个待测区域进行分析，从而对主栅线或更大的特征进行测量。根据测量所得的 Z 轴高度值和/或真彩色成像而生成三维形貌数据。
键合/接触点量测
Zeta-Solar 可用于先进接触点工艺的测量。现代太阳能电池在焊盘和栅线周围具有反射率非常低的制绒区域。Zeta-Solar 利用 HDR 技术可实现对低反射率表面的金属细栅线的测量。
真彩色成像
Zeta-Solar 光学轮廓仪可获取每个像素清晰的真彩色 3D 图像，可用于呈现不同光学特性材料的边界信息。
选配件
ProfilmOnline® 网络应用程序
Filmetrics® ProfilmOnline® 是 Profilm 软件包的一部分，是一种基于云端的 3D 数据可视化和分析平台。无论是在计算机上还是在移动设备上，ProfilmOnline 都能让您共享、存储、查看和分析三维数据。 安卓和 iOS 的操作系统均可使用此应用，并支持多种文件格式。为了安全起见，可以对数据进行加密。
物镜
四位手动转台可安装放大倍率从 5 倍到 50 倍不等的物镜，支持纳米级、微米级和宏观形貌的测量应用。5 倍物镜是迈克尔逊干涉物镜。10 倍、20 倍和 50 倍物镜是 Mirau 干涉物镜。
防震台
Zeta-Solar 提供了 Accurion Nano30 系列桌面式主动隔振系统，该系统在所有六个自由度下都采用电驱式主动隔振。
标准台阶高度样品
Zeta-Solar 包含定制的铬-硅 10µm 台阶高度标准片，具有镀铬涂层的蚀刻台阶。同时还可选购规格为0.1µm、2µm 和 4µm 的多种台阶高度标准样品片。
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