MicroXAM-800 光学轮廓仪

产品描述

MicroXAM-800光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。该系统支持相位和垂直扫描干涉测量，两者都是传统的相干扫描干涉技术（CSI）。MicroXAM进一步扩展了这些技术，它采用SMART Acquire，为新手用户简化了程序设置，并且采用z-stitching干涉技术，可以对大台阶高度进行高速测量。

MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。MicroXAM的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。

主要功能

●    针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量

●    SMART Acquire简化了采集模式并采用已知完好程序设置的测量范围输入

●    Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描和编译多个纵向（z）距离很大的表面

●    XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描

●    使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性

●    利用已知的技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法

主要应用

●    台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度

●    纹理：3D粗糙度和波纹度

●    翘曲：3D翘曲和形状

●    边缘滚降：3D边缘轮廓测量

●    缺陷复检：3D缺陷表面形貌

工业应用

●    大学、实验室和研究所

●    半导体和化合物半导体

●    LED：发光二极管

●    电力设备

●    MEMS：微机电系统

●    数据存储

●    医疗设备

●    精密表面

●    汽车

●    还有更多，请与我们联系以满足您的要求

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