Zeta-388 光学轮廓仪
Zeta™-388提供3D量测和成像功能，与集成防震台和晶圆操作系统结合，可实现全自动测量。该系统采用ZDot™技术，可同时采集高分辨率3D形貌信息和样品表面真彩图像。Zeta-388支持研发和生产环境，具有多模光学器件、易于使用的软件、低拥有成本和SECS/GEM通信。
产品描述
Zeta-388光学轮廓仪是一款非接触式三维（3D）表面形貌测量系统。Zeta-388基于Zeta-300的功能，增加了用于全自动测量的机械手臂操作系统。该系统由ZDot技术及多模式光学组件提供支持，可支持各种样品测量：透明和不透明、低至高反射率及各种粗糙程度的纹理，以及从纳米到毫米范围的台阶高度。
Zeta-388光学轮廓仪集成了六种不同的光学量测技术，构建出一款可灵活配置且易于使用的系统。ZDot测量模式同时采集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量法、诺马斯基光干涉对比显微法和剪切干涉测量法，膜厚测量包含使用ZDot模式测量和光谱反射的测量方法。Zeta-388也是一款高端显微镜，可用于抽样检查或缺陷自动检测。Zeta-388通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度测量、缺陷检测功能和机械手臂操作系统来支持研发和生产环境。
主要功能
● 采用ZDot及多模式光学技术且便于使用的光学轮廓仪，可应对各种各样的应用程序
● 可用于抽样检查和缺陷检测的高质量显微镜
● ZDot：同时采集高分辨率的三维（3D）扫描及真彩色无限聚焦图像
● ZXI：采用纵向高分辨率的广域测量白光干涉仪
● ZIC：图像对比度增强，可实现亚纳米级粗糙度表面的定量分析
● ZSI：纵向高分辨率图像的剪切干涉术
● ZFT：通过集成式宽频反射测量法测量薄膜厚度和反射率
● AOI：自动光学检测，可量化样本缺陷
● 生产能力：具有多点量测和图形识别功能的全自动测量
● 机械手臂操作系统：自动加载直径为50毫米到200毫米的不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品
主要应用
● 台阶高度：从纳米级到毫米级的3D台阶高度
● 纹理：从光滑表面到粗糙表面的粗糙度和波纹度测试
● 翘曲：2D或3D翘曲和形状
● 应力：2D或3D薄膜应力
● 薄膜厚度：从30nm至100μm的透明薄膜厚度
● 缺陷检测：捕获大于1μm的缺陷
● 缺陷复检：KLARF文件可用于寻找缺陷，以确定划痕缺陷位置，测量缺陷3D表面形貌
适用行业
● 无线通信器件（SAW/BAW/FBAR）
● LED：发光二极管和PSS（图案化蓝宝石基板）
● 半导体和化合物半导体
● 半导体 WLCSP（晶圆级芯片级封装）
● 半导体FOWLP（扇出晶圆级封装）
● PCB（印刷电路板）和柔性PCB
● MEMS（微机电系统）
● 医疗器械和微流体元件
● 还有更多：请联系我们以满足您的要求
相关产品
|
|
 |
 |
