Zeta-388 光学轮廓仪

Zeta-388光学轮廓仪将Zeta-300系统与机械手臂操作系统、图形识别、自动数据分析和 SECS/GEM相结合,支持生产测量要求。
Zeta™-388提供3D量测和成像功能,与集成防震台和晶圆操作系统结合,可实现全自动测量。该系统采用ZDot™技术,可同时采集高分辨率3D形貌信息和样品表面真彩图像。Zeta-388支持研发和生产环境,具有多模光学器件、易于使用的软件、低拥有成本和SECS/GEM通信。

产品描述

Zeta-388光学轮廓仪是一款非接触式三维(3D)表面形貌测量系统。Zeta-388基于Zeta-300的功能,增加了用于全自动测量的机械手臂操作系统。该系统由ZDot技术及多模式光学组件提供支持,可支持各种样品测量:透明和不透明、低至高反射率及各种粗糙程度的纹理,以及从纳米到毫米范围的台阶高度。

Zeta-388光学轮廓仪集成了六种不同的光学量测技术,构建出一款可灵活配置且易于使用的系统。ZDot测量模式同时采集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量法、诺马斯基光干涉对比显微法和剪切干涉测量法,膜厚测量包含使用ZDot模式测量和光谱反射的测量方法。Zeta-388也是一款高端显微镜,可用于抽样检查或缺陷自动检测。Zeta-388通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度测量、缺陷检测功能和机械手臂操作系统来支持研发和生产环境。

 


 

主要功能

●    采用ZDot及多模式光学技术且便于使用的光学轮廓仪,可应对各种各样的应用程序

●    可用于抽样检查和缺陷检测的高质量显微镜

●    ZDot:同时采集高分辨率的三维(3D)扫描及真彩色无限聚焦图像

●    ZXI:采用纵向高分辨率的广域测量白光干涉仪

●    ZIC:图像对比度增强,可实现亚纳米级粗糙度表面的定量分析

●    ZSI:纵向高分辨率图像的剪切干涉术

●    ZFT:通过集成式宽频反射测量法测量薄膜厚度和反射率

●    AOI:自动光学检测,可量化样本缺陷

●    生产能力:具有多点量测和图形识别功能的全自动测量

●    机械手臂操作系统:自动加载直径为50毫米到200毫米的不透明(例如硅)和透明(例如蓝宝石)样品

 

 


 

主要应用

●    台阶高度:从纳米级到毫米级的3D台阶高度

●    纹理:从光滑表面到粗糙表面的粗糙度和波纹度测试

●    翘曲:2D或3D翘曲和形状

●    应力:2D或3D薄膜应力

●    薄膜厚度:从30nm至100μm的透明薄膜厚度

●    缺陷检测:捕获大于1μm的缺陷

●    缺陷复检:KLARF文件可用于寻找缺陷,以确定划痕缺陷位置,测量缺陷3D表面形貌

 

 


 

适用行业

●    无线通信器件(SAW/BAW/FBAR)

●    LED:发光二极管和PSS(图案化蓝宝石基板)

●    半导体和化合物半导体

●    半导体 WLCSP(晶圆级芯片级封装)

●    半导体FOWLP(扇出晶圆级封装)

●    PCB(印刷电路板)和柔性PCB

●    MEMS(微机电系统)

●    医疗器械和微流体元件

●    还有更多:请联系我们以满足您的要求

 

 


 

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