InSEM HT 高温原位压痕仪

InSEM® HT高温原位纳米压痕仪通过在真空环境下独立加热压头和样品,以测量高温下的硬度、模量和刚度。InSEM HT与扫描电子显微镜 (SEM) 及聚焦离子束 (FIB) 工作室或独立真空室兼容。InView软件可帮助高级研究人员开发新实验。科学出版物显示,InSEM HT的结果与传统大尺度高温试验数据匹配良好。拥有较大的温度范围能力和较低的拥有成本,这种组合使 InSEM HT成为材料开发研究中的宝贵工具。

产品描述

InSEM HT高温测试系统测试温度范围宽以及拥有成本低的特点使InSEM HT成为材料开发研究计划中很有价值的设备。InSEM HT可在真空环境下独立加热压头和样品,并与多种SEM/FIB室或独立真空室兼容。在温度高达800℃ 时,可在原位模拟高温度条件并获得一致、可靠的测试数据。钼制底座上的单晶碳化钨压头针对高温测试应用进行了优化,有多种几何形状可供选择。


 

主要功能

●    InForce 50驱动器,压头可加热,适用于电容位移测量和电磁力驱动,并配有可互换的压头
●    样品可升温至800°C,采用10mm样品尺寸和真空兼容的样品安装系统
●    InQuest高速数字控制器,具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数
●    用于样本定位的XYZ运动系统
●    SEM视频捕获,可以将SEM图像和测试数据进行同步
●    独特的软件集成压头校准系统,可实现快速,准确的压头校准
●    与Windows®10兼容的InView控制和数据审查软件以及测试方法开发软件,用于用户自定义实验

 

 


 

主要应用

●    高温测试
●    硬度和模量测量(Oliver-Pharr)
●    连续刚度测量
●    高速材料特性分布图
●    蠕变测量
●    应变速率敏感因子

 

硬度和模量测量(Oliver-Pharr)

机械性能对新材料的研发至关重要。InSEM HT纳米压痕仪可测量各种材料的硬度,尤其是监控在热应力下的机械性能的变化。

连续刚度测量

连续刚度测量用于量化动态材料特性,例如应变率和频率引起的影响。InSEM HT纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激发,可进行基于时间的监测,准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。

 

 

快速材料力学性能成像

对于复合材料而言,不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。InSEM HT在X 轴和Y轴上的样品台可移动范围为20毫米,Z轴的范围为25毫米,还能在样品区域内测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像,可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。

高温测试

很多行业领域的材料研究不仅侧重于机械应力下的性能,还有热应力下的性能。InSEM HT是专为下一代材料测试而设计的仪器,可用于如航空航天、车辆和军事/防御等先进技术应用场景。

 

 

蠕变测量

材料由于外加负载以及温度升高而发生变形。蠕变测量是机械和热应力联合作用下应变随时间的变化,蠕变行为对于车辆和航空航天系统的有效设计至关重要。InSEM HT支持的测试温度高达800℃,并可同时监测材料的应变。

 

 

应变速率敏感因子

使用应变速率敏感因子,可以定量描述不同加载条件下产生的应变。例如,短时间内在材料上施加机械/热应力,产生的应变可能与更缓慢地施加应力时不同。InSEM HT支持用户自定义实验,在高达800°C时测量不同加载条件下的应变响应。

 

 

 

 


 

适用行业

●    大学、实验室和研究所
●    航空航天
●    汽车制造
●    硬质涂层
●    核能
●    军事/国防

●    更多应用,请联系我们以探讨您的需求

 

选配件

 

连续刚度测量(CSM)

CSM技术在压痕过程中控制压头振荡,以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试,测量硬度和模量随深度或载荷的变化,这是学术界和工业界常用的测试方法。CSM 还可用于其他高级选件,包括用于储存模量和损耗模量测量的ProbeDMA™ 方法和排除衬底影响的测量方法AccuFilm™。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中,使用极为简便,且确保数据质量。

 

InForce 50作动器

InForce 50作动器可以施加高达50mN的力以进行纳米力学测试。KLA独特的电磁力加载技术,确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。KLA独特的机械设计可确保单一方向自由度的谐波运动,从而沿单轴方向控制加载力和位移。InForce和Gemini作动器系列的压头均可互换。InForce 50作动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA™、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。

 

InForce 1000作动器

InForce 1000作动器采用高达1000mN的力度执行纳米力学测试。KLA独特的电磁力加载技术,确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。KLA独特的机械设计可确保单一方向自由度的谐波运动,从而沿单轴方向控制加载力和位移。InForce和Gemini作动器系列的压头均可互换。InForce 1000作动器与CSM、NanoBlitz、样品加热、划痕、磨损和ISO 14577等测试选项兼容。

 

NanoBlitz 3D

NanoBlitz 3D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头,获得杨氏模量较高(>3GPa)的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s,单次测试可包含多达100,000个压痕点(300×300阵列),获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量(E)、硬度(H)和接触刚度(S)。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。

 

AccuFilm ™薄膜测试方法

AccuFilm™薄膜测试方法是一种基于Hay-Crawford模型的InView测试方法,使用连续刚度测量(CSM)来测量排除基材影响的材料特性。AccuFilm™可对软衬底上的硬性薄膜测量进行衬底材质影响的校正,也可对硬衬底上的软性薄膜进行同类校正。

 

DataBurst

对于配有InView软件和InQuest控制器的系统,DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据,用于测量阶跃载荷响应、位移突进(pop-in)和其它瞬时事件。InSEM HT系统与用户方法开发选件搭配使用,可修改方法方便与DataBurst协作使用。

 

InView的“用户方法开发”选项

InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台,可用于设计新颖或复杂的实验。经验丰富的用户可借助InSEM HT设置并执行几乎所有小尺度的机械测试。KLA的核心技术。

 

压头和标准样品

有多种尖锐的压头可供选择,例如玻式(Berkovich)、立方角(cube corner)和维氏(Vickers)压头,还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。

 

 


 

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